螺桿真空泵用于化工、半導體等行業，可以清潔真空作用，去除大量水蒸氣和灰塵。它由幾個組件組成。主要結構將在下面介紹。
　　1.螺桿泵的排氣溫度非常高，因為沒有內部壓縮過程。如果冷卻效果不好，轉子和外殼會變形，影響泵送效果。
　　2.螺桿真空泵在密封和潤滑方面類似于無油螺桿壓縮機。一般在排氣端采用機械密封，進氣側通常采用雙唇密封。
　　3.機殼制冷是必不可少的環節，水冷是常用方法。冷水被引入殼體和軸承的外部，以達到冷卻殼體和轉子的目的。
　　4.該設備通過同步齒輪驅動從動轉子旋轉，殼體上設有冷卻轉子溫度的冷水通道和排氣口。同步齒輪和軸承用油潤滑，軸承和外殼用密封件密封，達到無油的效果。
　　5.一對螺桿在泵殼內高速同步反向旋轉，產生吸排氣作用，其傳動軸與驅動轉子連接。傳動方式采用直接連接電機，通過聯軸器與轉子連接，少數由皮帶或傳動鏈驅動。         

    螺桿真空泵是利用螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，為此它的結構質量要獲得保證，有利于提高工作效率和延長使用壽命。

2024.5.7  ZG